半導体用語集
熱線流速計
英語表記：hot wire anemometer
電流を流して加熱した細線状またはフィルム状の白金などの抵抗線または半導体センサを流れの中に置いた時、それらの抵抗値が流れの強制対流冷却効果により変化することから流速を検出している。実際には応答速度を速くするために、電気回路でフィードバック系を構成して、流れの中で抵抗線または半導体センサが一定温度を保つように加熱し、その加熱に必要な電流の大きさから流速を求めている。抵抗線は微風速用の場合は通常用に比べて細長くし、それをセラミックなどに巻きつけてセンサを作り感度を上げている。簡易で安価な計測器である半面、センサ自身の熱対流があるため、通常は10 cm/s 程度よりも低い微風速の測定は非常に困難である。また、出力が指数関数的に変化するために、リニアライザの回路が必要である、その誤差も加わることになる。
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