半導体用語集
マイクロローディング効果
英語表記：Micro Loading Effect
穴や溝をドライエッチング（RIE）で掘る場合、パターン寸法が縮小になるにつれてエッチング速度はパターンの疎密性とアスペクト比に依存する傾向がある。パターン密度が高い領域は、粗い領域に比べ、エッチング速度が遅くなる。また、パターン寸法が細くなればなるほどエッチング速度は遅くなる。この現象をマイクロローディング効果という。
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