半導体用語集
回転塗布
英語表記：rotation paint
ULSIの薄膜形成法として、熱酸化、 CVD、スパッタ法などと並んで広く用いられている方法。 ウェハ上に薄膜材料の溶液を滴下し、ウェハを回転させて広げて薄膜とする。 リソグラフィ用のレジスト、層間絶縁膜用のSOGや ULSIチップ保護用のポリイ ミ ド膜など、有機系の薄膜形成に用いられる場合が多い。 回転塗布によって形成され る薄膜には表面が平滑化されるという効果がある。たとえば急峻な段差上に塗布された膜は表面がなだらかな傾斜の膜 (平滑) となるが、その傾斜角が平坦化効果の目安として用いられる。回転塗布時に樹脂液の乾燥速度を制御したり、ウェハ周辺から飛び散った飛沫が装置内壁で反射してウェハに再付着して異物とならないように排気方法を最適化したりするなど、細かいノウハウの積み重ねが重要である。
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