半導体用語集
焼却装置
英語表記：incineration equipment
有機性汚泥または有機系濃厚廃液を償却することにより有機物および水分を除去し、減容化および質の安定化を目的とする装置。炉の構造から多段償却法式、流動層方式、噴霧焼却方式などがある。
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