半導体用語集
微振動対策設備
英語表記：anti-vibration device
半導体製造装置が要求する低振動レベルを達成するために設ける振動発生側の防振設備および振動受理側の除振設備。露光設備などの微細加工工程およびSEMなどの検査工程では、4Hz程度の低周波領域までの対策が必要となる。
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