半導体用語集
ICTS
英語表記：Isothermal Capacitance Transient Spectroscopy
半導体の接合容量の過渡現象を利用した過渡容量分光法（capacitance transient spectroscopy)の一種で．半導体禁制帯内の深い準位を評価する手法であり．測定原理は，DLTS（Deep Level Transient Spectroscopy）と同じである。pn接合やショットキ接合に逆方向バイアスを印加した状態で．キャリアが空乏陪中の深い準位に捕獲されるようにパルスを印加する。捕獲されたキャリアが熱励起により放出される時に接合容量の過渡的変化が観測される。DLTSでは，温度を変えながら二つの時間の接合容量値の差としてこの過渡的変化をとらえ，温度軸上にプロットしたものがDLTS信号となる。それに対して ICTS（Isothermal Capacitance Transient Spectroscopy）では，一定の温度で接合容量の過渡的変化データをすべて取り込む。そのデータに対して容量の2乗の時間微分に時間をかけるデータ処理を行い，log時間軸上にプロットするとICTS信号がえられる。このICTS信号は，一つの準位に対応して極値を持ち，DLTSと同じく準位の同定および濃度の測定が可能なる。ICTSの長所は，DLTSで誤差の要因となる温度掃引がないためDLTSより精度が向上することであるが，その半面，一定温度下での測定のためえられる準位のエネルギー範囲がせまくなるという欠点がある。
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