半導体用語集
SOD塗布
英語表記：SOD塗布
SOD材料を塗布すること。スピン塗布法で成膜される層間絶縁膜をSOD（Spin-on-Dielectric）材料と総称する。有機系樹脂を主成分としたものやポーラス材料と言われる多孔質のSiOxなどがあり、従来のSOG（Spin-onｰDielectric）も含まれる。配線遅延の問題解消のために、比誘電率の低い材料（Low-k材料）の開発が進められている。この中でCVD法と区別するためにつけられた呼称。膜質の劣化（主に酸化）を防止するために、ベーク処理室内の酸素濃度を制御する場合もある。
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