半導体用語集

SOD塗布

英語表記:SOD塗布

SOD材料を塗布すること。スピン塗布法で成膜される層間絶縁膜をSOD(Spin-on-Dielectric)材料と総称する。有機系樹脂を主成分としたものやポーラス材料と言われる多孔質のSiOxなどがあり、従来のSOG(Spin-onーDielectric)も含まれる。配線遅延の問題解消のために、比誘電率の低い材料(Low-k材料)の開発が進められている。この中でCVD法と区別するためにつけられた呼称。膜質の劣化(主に酸化)を防止するために、ベーク処理室内の酸素濃度を制御する場合もある。


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