半導体用語集
ソープションポンプ
英語表記：sorption pump
ガスの収着材として合成ゼオライトを用い、低温に冷却し粗引きポンプとして使用される。合成ゼオライトとしてはLinde社のモレキュラーシープス5A((MI十Mll)mAlmSin02(m十ｎ）･ｘH2O) ; MI一価の金属、Mll 二価の金属)が用いられている。ゼオライト中に含まれるMI、 Mllの金属によって孔径が異なり、排気速度も変わる。主にイオンポンプの粗引き用として用いられ、収着材の量にもよるが、 これだけで10ー3Paの圧力にまで排気できる。溜め込み式のポンプであるので、ガス負荷のある排気系には用いられない。小型の実験装置や表面分析装置などの粗引き排気用として主に用いられている。
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