半導体用語集
シード回転速度 結晶回転速度 S／R
英語表記：seed rotation rate crystal rotation
単結晶が成長する時の種子結晶の回転速度。種子結晶をシードチャックで軸に固定し、このシード軸にモータなどで機械的に回転を与える。単位は（rpm）で表示する。回転することでるつぼ内に強制対流を引き起こし、融液の温度分布やドーバント分布が均一になると同時に結晶を円柱状に形成できる。
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