半導体用語集
抗折強度
英語表記:die strength
ウェーハ(チップ分割されたもの)を曲げ試験によって破断に至る時に発生する内部応力値のこと。抗折強度の測定方法には一般的に、チップ中心部を点荷重によって試験する方式と、3~4点の線荷重によって試験する方式が用いられている。
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英語表記:die strength
ウェーハ(チップ分割されたもの)を曲げ試験によって破断に至る時に発生する内部応力値のこと。抗折強度の測定方法には一般的に、チップ中心部を点荷重によって試験する方式と、3~4点の線荷重によって試験する方式が用いられている。
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