SEMICON Japan 2020 Virtual-1

展示会の概要

　SEMICON Japan2020はコロナ禍の影響を受けて中止となったが、その代替としてオンラインで展示、セミナー開催を行うバーチャルイベント「SEMICON Japan Virtual 2020」を開催することになった。
　出展企業のオンライン展示は2020年12月11日（金）からアクセスすることができるようになり、2021年1月15日（金）までアーカイブとしてアクセスすることが可能となる。さらに12月14日（月）から17日（木）までは来場者と出展者がチャットにより対話ができるライブ配信にも対応、出展者から様々な情報発信を行うことができるバーチャル展示会となっている。
　2020年12月3日までの「SEMICON Japan Virtual 2020」への出展者数は約170社（各種組織、団体含む）。昨年までのリアル展示会と比較すると大幅に減少している。
　出展企業では、国内企業で大手製造装置メーカが参加している。しかし、組立装置メーカの出展数は少なく、ウェーハプロセス装置でも大手のキヤノンなど昨年までの常連ながら今回は出展を見合わせた企業もある。また、Applied Materials（AMAT）、Lam Research、 ASML Holdingsなど海外のトップ企業も参加していない
これはコロナ禍の影響や初めての試みであること、開催のアナウンス時期が遅れたこと、などが影響しているとしている。

出展企業の紹介（1）

　出展企業は、会期スタートを中心に見どころ、出展製品の発表を進めている。今回と次回で紹介する。今回は、2020年12月3日までに、出展内容を明らかにしている、また新製品の発表などを行っている企業から注目の企業、装置を紹介していく。
　堀場製作所／堀場エステックでは、マスフローコントローラなど、半導体製造・研究開発プロセスでの課題に対して、制御や管理、評価に加え、施設監視や半導体を搭載するスマートモビリティ開発に貢献できるHORIBA独自の制御・計測・分析ソリューションなどにアクセスが可能となっている。
　新製品としては、堀場エステックの超薄型マスフローコントローラ「DZ-100」、サーマルフロースプリッタ「FS-3000」などが注目される。
　マスフローコントローラではフジキンも出展している。
試験・検査装置でも注目の製品が出展される見通しだ。
　日立ハイテクは、新型走査型電子顕微鏡（SEM）の新製品として、半導体製造向け欠陥形状評価SEM 「CT1000」、高速レビューSEM「CR7300」を発表している。また、エッチング装置では、コンダクタ―エッチング装置「9000」シリーズを中心に紹介している。
　「CT1000」は、直径200mm以下のウェーハ上のパターン形状や製造工程中に発生する欠陥の三次元観察を可能とし、観察対象の構成元素推定機能を搭載している。
　「CR7300」は、従来比2倍となる高速電子線スキャンに対応した電子光学系と高速信号処理システム、ウェーハ交換時間を短縮する新搬送系システムを採用したことで、処理能力を従来比約2倍に高めている。
　日本セミラボでは、イオン注入/アニール工程管理に向けた検査測定技術（イオン注入モニタリング）、結晶欠陥、GaN、SiC、およびAlGaN / GaNの電気特性を非接触で評価する技術を展示、セミナーでの紹介を行う。
　ディスコでは、多様化するパッケージ研削ニーズに対応する全自動グラインダに新製品2機種「DFG8020」、「DFG8030」を展示する。「DFG8020」は最大390×390 mmサイズのパネルレベルパッケージに対応する。「DFG8030」ストリップ（短冊形基板）に対応する。また、ダイシング後のウェーハからチップをピックアップし、厚さ・チッピング測定、裏面粗さ測定、抗折強度測定（破壊検査）を全自動で実施する新製品「DIS100」が出展される。