カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
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- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
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- テフロン（半導体グレード）
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- 大気ロボット
- 真空ロボット
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- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
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- リニアモータ駆動システム
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- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
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- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
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- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
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- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
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- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
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- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
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- チラー
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- 赤外線検出器
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- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series
半導体、ディスプレイ、太陽電池などの製造プロセスにて、チャンバに導入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。
1.拡張性/メンテナンス性の向上
マスターコントローラとマスフローコントローラで構成されており、最大15分岐まで拡張が可能です。マスフローコントローラ単体の交換ができるため、メンテナンス、仕様変更、修理が容易です。
2.幅広い流量レンジに対応
マスフローコントローラの組み合わせにより、低差圧から大流量まで幅広い流量レンジに対応しています。
3.面内均一性によるウェハの品質向上
同じ濃度のガスをフロースプリッタで分岐することにより、ウェハの面内均一性を向上させることができ、品質向上に貢献します。
基本情報
分岐数（チャンネル） 2～15分岐（チャンネル）
導入流量 MFCの仕様により異なります
比率設定範囲 分岐数と導入乳量により異なります
供給圧力条件 分岐数と導入乳量により異なります
バルブ型式 非通電時間開（オープン）/閉（クローズ）
応答性 分岐数と導入流量により異なります
使用可能温度範囲 5～50℃（推奨温度 15～45℃）
耐圧 100kpa（G)
取付可能姿勢 自由
通信インターフェース RS-485/DeviceNet
取扱企業
株式会社堀場エステック
業種：電子部品・半導体 所在地：京都府 京都市南区上鳥羽鉾立町 11-5
高精度な流量計測制御のトータルソリューションを提供し、半導体製造プロセスを支えます。
堀場エステックは、半導体や液晶製造分野で欠くことのできない流体制御機器「マスフローコントローラ」で世界トップシェアを維持して成長し続けています。
「ガス」「液体」「液体材料」「気化技術」を極めた「世界一の流体制御機器メーカー」を目指し、独創技術と「おもしろおかしく」のスピリットを基に、半導体業界の未来を創造していきます。
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サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series
