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超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series

差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフロー
モジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現しています。

高速応答  応答速度:0.4秒以内
軽量化・コンパクト  幅10mm、高さ99mm
高精度   ±0.5% S.P.を実現
集積化対応(C-Seal/W-Seal)
通信方式  DeviceNet™通信モデル
一次側供給圧力範囲の拡大  110~900kPa
PI機能 (Pressure Insensitive)
 急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新の
 アルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが
 可能。ガスラインのシンプル化を実現します。
マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能
 ユーザーサイドで「ガス種」「フルスケール流量」「供給圧力レンジ」
 の変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。
自己診断機能 G-Life(Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation)

基本情報

H仕様
フリースケール流量 80SCCM~2.9SLM
一時側供給圧力範囲 370~900kPa(A)
動作差圧条件 350kPa(A)
2次側使用圧力 13.3kPa(A)以下/53.3kPa(A)以下
流量制御範囲 1.0~100%F.S./2.0~100%F.S.
流量精度 ±0.5% S.P.(20~100% F.S.)
±0.1% F.S.(1~20% F.S.)
オフセット/スパン安定性 ±0.5% F.S./年
繰り返し性 ±0.3% S.P.(10~100%F.S.) ±0.03%F.S.(1~10%)
      ±0.3% S.P.(20~100%F.S.) ±0.06%F.S.(2~10%)
バルブ型式 非通電時(クローズ)/ピエゾアクチュエータ
ステップアップ流量応答時間 0.4秒以内
耐圧 1.0MPa
5.0×10-12Pa/m3/sec(He)以下
接ガス部材質SUS316L,Ni合金、PFA、PCTFE
使用可能周囲温度15~45℃
保存温度0~80℃
取り付け可能姿勢 自由
温度計精度 ±1℃
暖機時間 30分以上
制御インターフェース DeviceNet プロトコル

お問い合わせ

取扱企業

株式会社堀場エステック

業種:繊維  所在地:京都府 京都市南区上鳥羽鉾立町 11-5

堀場エステックは、半導体や液晶製造分野で欠くことのできない流体制御機器「マスフローコントローラ」で世界トップシェアを維持して成長し続けています。
「ガス」「液体」「液体材料」「気化技術」を極めた「世界一の流体制御機器メーカー」を目指し、独創技術と「おもしろおかしく」のスピリットを基に、半導体業界の未来を創造していきます。
 

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