カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series
差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフロー
モジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現しています。
高速応答 応答速度：0.4秒以内
軽量化・コンパクト 幅10mm、高さ99mm
高精度 ±0.5% S.P.を実現
集積化対応（C-Seal/W-Seal）
通信方式 DeviceNet™通信モデル
一次側供給圧力範囲の拡大 110～900kPa
PI機能 （Pressure Insensitive）
急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新の
アルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが
可能。ガスラインのシンプル化を実現します。
マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能
ユーザーサイドで「ガス種」「フルスケール流量」「供給圧力レンジ」
の変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。
自己診断機能 G-Life(Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation)
基本情報
H仕様
フリースケール流量 80SCCM～2.9SLM
一時側供給圧力範囲 370～900kPa(A)
動作差圧条件 350kPa（A)
２次側使用圧力 13.3kPa(A)以下／53.3kPa(A)以下
流量制御範囲 1.0～100%F.S.／2.0～100％F.S.
流量精度 ±0.5％ S.P.(20～100％ F.S.)
±0.1％ F.S.(1～20％ F.S.)
オフセット／スパン安定性 ±0.5％ F.S.／年
繰り返し性 ±0.3％ S.P.（10～100％F.S.） ±0.03％F.S.（1～10％）
±0.3％ S.P.（20～100％F.S.） ±0.06％F.S.（2～10％）
バルブ型式 非通電時（クローズ）／ピエゾアクチュエータ
ステップアップ流量応答時間 0.4秒以内
耐圧 1.0MPa
5.0×10-12Pa/m3/sec（He)以下
接ガス部材質SUS316L,Ni合金、PFA、PCTFE
使用可能周囲温度15～45℃
保存温度0～80℃
取り付け可能姿勢 自由
温度計精度 ±1℃
暖機時間 30分以上
制御インターフェース DeviceNet プロトコル
取扱企業
株式会社堀場エステック
業種：電子部品・半導体 所在地：京都府 京都市南区上鳥羽鉾立町 11-5
高精度な流量計測制御のトータルソリューションを提供し、半導体製造プロセスを支えます。
堀場エステックは、半導体や液晶製造分野で欠くことのできない流体制御機器「マスフローコントローラ」で世界トップシェアを維持して成長し続けています。
「ガス」「液体」「液体材料」「気化技術」を極めた「世界一の流体制御機器メーカー」を目指し、独創技術と「おもしろおかしく」のスピリットを基に、半導体業界の未来を創造していきます。
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