半導体用語集

クイックダンプリンス

英語表記:quick dump rinse

水洗槽への急速排水と給水を交互に数回行って水洗する方法。前槽の液の置換効率は良いが、構造又は用途により静電気やパーティクル増加の問題が起きる場合がある。


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