半導体用語集
捜査式投影露光装置
英語表記：scanning projection aligner
マスクパターンの一部を投影光学系によりウェーハに投影し、投影光学系に対し相対的にマスクとウェーハを同期走査することによりマスクパターン全体をウェーハに露光する露光装置。
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