半導体用語集
バッチ洗浄
英語表記：batch cleaning
複数枚のウェーハを同時に洗浄することを指し、ウェット洗浄において一般的に用いられている手法である。半導体製造プロセスでは、ウェーハをカセット単位で扱う。バッチ式洗浄機としては、洗浄槽にウェーハの入ったカセットを投入して洗浄するキャリアタイプの洗浄機とカセットからウェーハだけを取り出して洗浄槽に投入し、洗浄後にカセットに戻すキャリアレスタイプの洗浄機がある。
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