半導体用語集
クリーンエレベータ
英語表記：clean elevator
垂直方向の搬送機器。一般のエレベータ（ダムウェータ）と異なるのは搬送物の環境をクリーンに維持することができる点にある。階間にまたがるものをクリーンエレベータ、同じ階層内のものをクリーンリフターと呼び分ける場合もある。
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