半導体用語集
高速昇降温炉
英語表記：fast thermal process system
従来型のシステムに比べて、高速で昇温（100℃/min）が可能な熱源を搭載、強制空冷システムと合わせて大幅にTAT、生産性を向上させたシステム。高速昇降温が可能な事によって、異種温度帯の連続 in-situ処理、自然酸化膜抑制のための低温炉が可能となる。
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