半導体用語集

高温リフロー スパッタリング

英語表記:high temperature reflow sputtering

ウェーハ温度を高温にすることよりAlをフローさせながらホールの埋め込みを行うスパッタリング。高アスペクト比のホールを埋め込む場合のカバレッジ改善策の手段。


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