半導体用語集
高温リフロー スパッタリング
英語表記：high temperature reflow sputtering
ウェーハ温度を高温にすることよりAlをフローさせながらホールの埋め込みを行うスパッタリング。高アスペクト比のホールを埋め込む場合のカバレッジ改善策の手段。
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