半導体用語集
SOG
英語表記：spin-on-glass
SOG液は、膜となるシロキサン成分と溶媒としてのアルコールなどから調整される。この溶液をスピンコート法により基板上に塗布し、熱処理で溶媒などを蒸発させ、膜を硬化するとSOG絶縁膜が形成される。SOGとは、これら溶液と形成される膜の総称である。SOGは、シロキサンの構造により、シリカガラス、アルキルシロキサンポリマー、アルキルシルセスキオキサンポリマー、水素化シルセスキオキサンポリマー、水素化アルキルシルセスキオキサンポリマーに分類される。塗布材の特徴として、塗布時にウェーハ上のパターン凹みに成膜成分が埋め込まれ、部分的平坦化が達成される。最近では熱処理時に膜が自己流動（リフロー）し、従来のSOGより平坦性が向上した材料や、誘電率の低い材料もある。SOG膜内に有機分が増加すると膜は疎水性となり、CMPによる平坦化では膜の研磨速度が減少する。
関連製品
「SOG」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
