半導体用語集
エキスバンド装置 エキスパンド率
英語表記：expansion ratio
ダイシング状態のウェーハテープを外周から引き伸ばし、ダイ間隔を広げた状態でウェーハリングにテープを固定する装置。ウェーハテープを引き伸ばしウェーハを広げた時の、間隔拡大率をエキスバンド率という。
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