半導体用語集

エキスバンド装置 エキスパンド率

英語表記:expansion ratio

ダイシング状態のウェーハテープを外周から引き伸ばし、ダイ間隔を広げた状態でウェーハリングにテープを固定する装置。ウェーハテープを引き伸ばしウェーハを広げた時の、間隔拡大率をエキスバンド率という。


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