半導体用語集
電子顕微鏡法
英語表記：electron microscopy
電子顕微鏡とは電子線を用いて物質の表面あるいは内部の構造や欠陥を高倍率で観察する装置である。電子線を試料上で走査し各走査点から放出される電子を検出し，走査と同期させることで像とする走査型電子顕微鏡，試料を透過した電子線をレンズ系を用いて結像する透過型電子顕微鏡，試料表面から反射した電子線を結像する反射型電子顕微鏡などがよく知られている。
電子顕微鏡は極微構造の観察を主目的としているが，それと同時に極微領域の分析機能も持ち合わせている。このため，電子顕微鏡は材料科学や生物学といった研究分野のみならず，半導体やセラミックスなどの新素材関連の工業分野でも広範囲に用いられている。
通常の電子顕微鏡に用いられる電子線の加速電圧は20kVから200kV程度のものが多い。加速電圧が500kVを超え数MVに至るものを超高圧電子顕微鏡と呼ぶ。電子のエネルギーが高いために厚い試料の透過観察が可能で，かつ電子線の波長が短いために空間分解能が高いなどの特徴を持っている。見方を変えれば，線束の大きい加速器でもある。したがって，放射線損傷の実験にもよく用いられている。
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