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[SEM]走査電子顕微鏡法

財団法人材料科学技術振興財団
最終更新日: 2025年01月21日

SEM:Scanning Electron Microscopy

SEMは、電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です。

・簡単な操作で高倍率観察(50万倍程度まで)が可能
・二次電子(Secondary Electron;SE)像、反射電子(BackScattered Electron;BSE)像、透過電子(Transmitted Electron;TE)像の観察が可能
・加速電圧0.1~30kVの範囲で観察が可能
・最大6インチまで装置に搬入可能(装置による)
・SEMにオプションを組み合わせることにより、様々な情報を得ることが可能
-EDX検出器による元素分析が可能
-電子線誘起電流(EBIC)を測定し、半導体の接合位置・形状を評価
-電子後方散乱回折(EBSD)法により、結晶情報を取得可能
-FIB加工とSEM観察の繰り返しにより、立体的な構造情報を取得可能(Slice & View)
-冷却観察・雰囲気制御観察

基本情報

○適用例
・試料表面観察
・試料断面観察
・故障解析
・膜厚測定
・粒径測定

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取扱企業

財団法人材料科学技術振興財団

業種:試験・分析・測定  所在地:東京都 世田谷区喜多見 1-18-6

製品開発・品質管理を強力サポートする、受託分析サービス。 公正中立な第三者機関として、最先端の科学技術の発展に貢献します。

エレクトロニクス分野・マテリアル分野・ライフサイエンス分野などの製品・材料・素材の分析を、100種以上の分析手法を取り揃えて承っております。
お客様の「なぜ?」「困った…」「どうなってる?」に分析データ・解析結果でお応えします。

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