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［TEM］透過電子顕微鏡法

財団法人材料科学技術振興財団
最終更新日: 2025年01月21日
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（S)TEM ： （Scanning）Transmission Electron Microscopy

TEMは、薄片化した試料に電子線を照射し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。

■長所
・サブナノレベルの空間分解能で拡大像が得られ、試料の微細構造・格子欠陥等を観察・解析可能
・試料の結晶性を評価し、物質の同定を行うことが可能
・ＦＩＢで試料作製することにより、デバイス内の指定箇所をピンポイントで観察することが可能
・オプション機能を組み合わせることにより、局所領域の組成・状態分析なども可能

■短所
・試料を薄片化する必要がある（一部の試料において薄片化が困難な場合もある）
・単原子を見ているのではなく、試料の厚み方向（通常約0.1μm厚） の平均情報を映し出している
・試料加工および観察により、試料が変質・変形することがある

基本情報

○適用例
・各種形状・形態の観察、微粒子の三次元形状評価
・各種寸法評価（積層膜厚・寸法（ゲート長）など）
・結晶欠陥（転位・積層欠陥・粒界・析出物など）の観察
・結晶性評価（配向性・結晶化度・結晶粒サイズなど）
・特定箇所の故障解析（不良の原因究明）
・異物の評価（形態観察・EDXによる定性分析など）
・応力・歪みの評価など

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取扱企業

財団法人材料科学技術振興財団

業種：試験・分析・測定  所在地：東京都 世田谷区喜多見 1-18-6

製品開発・品質管理を強力サポートする、受託分析サービス。 公正中立な第三者機関として、最先端の科学技術の発展に貢献します。

エレクトロニクス分野・マテリアル分野・ライフサイエンス分野などの製品・材料・素材の分析を、100種以上の分析手法を取り揃えて承っております。
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