半導体用語集
単結晶シリコン
英語表記:
周期律表のⅣ族であるC(炭素)、Si(シリコン)、Ge(ゲルマニウム)はダイヤモンド型構造と呼ばれる結晶構造である。この構造は、最密充填格子とも言われ、ちょうどパチンコの玉を積み重ねたように最も密に詰まっている。従って、原子同士の結びつきが強固であり、物性的には硬く、融点も高い。バンドギャップは1.1eVなので、150℃程度までは半導体の性質を持っているのでLSIに用いるには適している。高温・酸素中で加熱すると表面に薄い酸化膜(SiO2)ができるが、非常に純度の良い絶縁膜なのでトランジスタの生産に用いられる。
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株式会社同人産業
同人産業では主にCZ法とFZ法を採用し、単結晶シリコンの成長からスライス、エッチング、研削・研磨、精密加工まで一貫して行っております。
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