半導体用語集
超音波センサー終点検出法
英語表記：end point detection by ultrasonic sensor
グローバル平坦化CMPにおいて、層間絶縁膜または金属膜研磨の最適研磨量を得るための終点検出の1例である。具体的には、超音波の物質伝達性が良いことを応用し、従来の膜厚計測と同様に次の2種類の計測方法がある。①反射波伝達時間計測法：キャリヤから被研磨物のウェーハに向かってウェーハ裏面より超音波を照射し、ウェーハ内を伝播した後戻ってくる反射波の到達時間を測定し、ウェーハの厚みを計測する。②超音波定在干渉計測法：キャリヤから被研磨物のウェ
ーハに向かってウェーハ裏面より超音波を連続照射し、進行波（発射波）と反射波の干渉により発生する定在波比の変動を捕らえ、波長の変化（周波数変化）によりウェーハの厚みを計測し終点検出とする。
関連製品
「超音波センサー終点検出法」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「超音波センサー終点検出法」に関連する用語が存在しません。
「超音波センサー終点検出法」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
