半導体用語集
露店計
英語表記：dew point meter
高純度ガス中に含まれる微量の水分を検出して、露天（℃）または水分濃度を表示する計器。通常ppmレベルの測定が可能であるが、サブppbレベルを測定可能な計器もある。検出方法にはミラー式、低温光学式、五酸化りん式、水晶発振式、静電容量式、レーザ分光式などがある。
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