半導体用語集
定盤自動修正機構
英語表記：automatic flatness controller
太陽ギアとインターナルギアの回転速度を変えてキャリヤと定盤との相対速度比を逆にすることにより定盤の摩擦領域をコントロールする装置。回転比率が一定の方式のものと、任意に設定出来る方式のものとがある。
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