半導体用語集
外観検査装置
英語表記：visual inspection equipment
製品の仕上がりを自動的に検査する装置の総称。パッケージのボイドなど表面状態、リード形成の仕上がり状態、マーク品質などを光学的に読み取り画像処理による良否判定を行う。
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