半導体用語集
モニタリング
英語表記：monitaring
現象を測定あるいは監視すること。CMPにおいてはCMP装置の回転駆動源や研磨ヘッドなどに取り付けられたセンサーからの信号をモニタすることによって、研磨終点を検出することが一番重要となっている。信号としては電気信号、光などが用いられる。この他に、装置の稼働状況、クリーンルーム内のパーティクルのモニタリングなど、多くのモニタリング対象がある。大きく分類すると、研磨に関わるもの、スラリーに関するもの、CMP装置保全に関するもの、環境に関するものなどが重要である。
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