半導体用語集
マーキングプローバ
英語表記：marking prober
マーキング専用のプローバのこと。通信または，フロッピーディスクにより測定終了しているロットのウェハのマップデータをマーキングプローバへ送り，そのマップに従ってマーキングする。プローバでの基準チップ（基点チップ）とマーキングプローバでのそれを一致させるために、ターゲットセンス機能（ウェハ上のアライナターゲットや，パターンエッジ部を検出してウェハごとのパターンの相対的なずれを検出し，補正する機能）を使用することが必要。プローバのテスト時間込みの処理能力とマーキングプローバの処理能力により，測定用プローバ台数とマーキングプローバ台数が決められる。測定結果が不良である場合，即マーキングする通常のプローバに対し，次のようなメリットを持つ。
(1)マーキングしている時間は，プローバ，テスタともに止まってしまう。その間のテスタのデッドタイムを0にすることができる。
(2)誤って測定プログラムを間違えて測定開始しても救済（再測定）が容易にできる。
(3)メジャリングケーブルなど，マーカ（インカ）の設置に関しての制限がないため，マーカ操作，マーカ保守時間（インクの補給など）が減少できる。
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