半導体用語集
マクロ成長（ストリエーション）
英語表記：macro growth (striation)
CZ結晶において、固液界面形状に沿って結晶回転周期に対応した成長縞が観察される。一般的にシリコンの結晶成長での成長界面は、結晶側に凹面になっている。しかし中心部が平らになることがあり、ファセット（facet）を持っている場合である。このファセットは、結晶内部で円筒状に入っているのでコア（core）とも呼ばれる。結晶外側のオフファセット部で、鋸刃状の大きな濃度変動として成長縞が観察されることがある。このような成長縞も熱中心軸と結晶回転軸のずれがある場合、回転によっ 、部分的な再溶軸（local remelting）を考慮することにより、このような回転濃度ムラをBPS理論で説明することができる。
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