半導体用語集
AFM
英語表記：atomic force microscope
針状プローブ（先端を鋭く加工した探針がカンチレバーに付属したもの）を用いて、物体表面と探針間の原子間力を計測し、表面状態の情報を得る顕微鏡。一般に、プローブを原子間力一定条件でスキャンし、その変位を光学的、電気的に計測して、表面の微小な凸凹形状を知る。検出感度は0.1nm程度に達する。スキャン時のモードとして、コンタクト、ノンコンタクトがあり、ノンコンタクト計測時は、プローブを振動させることが多い。SPM（走査型プローブ顕微鏡）と総称されるものの一種であり、近年、探針部の微細加工技術の向上（曲率数nm）とともに飛躍的に進展した。先行技術であるSTM（走査型トンネル顕微鏡）に比較して、対象物の電気的性質によらず計測できる利点を有する。半導体プロセスにおいては、微細構造の計測に活用されつつあり、CMP工程においてもリセスなどの研磨状態評価に用いられている。
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集束イオンビーム装置（FIB）を使った微細加工、走査型プローブ顕微鏡（AFM）他による微小部形態観察、示差走査熱量計（DSC）による材料性質の分析などナノレベルの微細加工技術と分析・解析技術でお客様の課題解決に取り組みます
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