AFMの製品一覧

トレンチフィールドプレートパワーMOSFET における積層ゲート膜化によるTDDB ばらつき改善
グローバルネット株式会社

注目

東芝デバイス&ストレージ株式会社、石井 大智

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MARORA

Kokusai Electric株式会社

次世代DRAM、ロジックのゲート絶縁膜形成、フラッシュメモリの絶縁膜形成に最適な枚葉プラズマ窒化・酸化装置

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セイコーフューチャークリエーション株式会社 受託分析サービス

セイコーフューチャークリエーション株式会社

集束イオンビーム装置(FIB)を使った微細加工、走査型プローブ顕微鏡(AFM)他による微小部形態観察、示差走査熱量計(DSC)による材料性質の分…

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VERTEXR Revolution/Ⅲ

Kokusai Electric株式会社

200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置

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AdvancedAce-300

Kokusai Electric株式会社

高生産性縦型装置

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TSURUGI-C2 剱

Kokusai Electric株式会社

次世代デバイス、特に3次元(立体構造)デバイスに向けた成膜品質向上の市場ニーズにこたえる高品質成膜・高性能半導体製造装置

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