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半導体用語集

ロジックテスタ

英語表記：logic test system

　ロジックテスタは，マイクロプロセッサなどの論理機能および電気特性を測定することを主目的とした半導体試験装置である。
　ロジックテスタは，パターン発生器，タイミング発生器，波形整形器，論理比較器，電源ユニット，印加電庄および基準電圧発生回路のテストユニットを持つ。
　ロジックIC（Integrated Circuit）には，コンピュータ制御用に用いられるMPU（Micro Processor Unit）や，家電製品の制御に用いられるMCU（Micro Controller Unit）がある。そうしたロジックICに加え，高集積化が進んだVLSI（Very Large Scale Integration）やロジック，アナログ，メモリを混載したシステムLSIがある。
　ロジックテスタは，これらの被測定デバイスに対して，被測定デバイスが取り扱わなければならない入力波形を擬似的に作り出し，出力特性を測定する。テスタは，ロジックICの論理回路をテストするために論理信号波形を擬似的に作成し，設定された測定条件で被測定デバイスの回路が動作するようテストユニットをコントロールする。
　デバイステスト時，テストユニットはテスタのコントロールプロセッサにコントロールされ，あらかじめプログラミングされたシーケンスに従いテスト動作を行う。テスタは，被測定デバイスの出力波形取り込みを規定されたタイミングで実行し，定量的特性を特定する。この取り込みタイミングは被測定デバイスの特性により決定され，時間やデバイスの状態などが特性として規定される。ロジックテスタのテス卜能力決定には試験速度，波形発生器の精度，論理比較器の精度が重要となる。
　ロジックICの進歩は著しく，高機能IP（intellectual Property）の集積化，高速アナログ回路の集積化，メモリ回路の集積化されたチップセットを1チップ化したシステムLSIがある。システムLSIは，年々高速化，高精度化されているため，これらをテスト対象とするロジックテスタはメモリパターンを発生するためのALPG（Algorithmic Pattern Generator），不良メモリ・セル・アドレスを格納する AFM（Address Failure analysis Memory）やアナログ測定ユニットを備えている。また解析，評価用のグラフィカルなソフトウェアも豊富にそろえている。

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