半導体用語集
テスタ
英語表記:IC test system
テスタは半導体集積電気回路IC(Integrated Circuit)の電気的特性測定することを目的に作られた半導体試験装置である。
テスタは,テストする対象ICによりロジックテスタ,メモリテスタ,ミクスドシグナルテスタに大きく分類される。ロジックテスタ,メモリテスタ,ミクスドシグナルテスタはおのおのの電気的特性を測定するためのテストユニットを持つ。
テスタは,被測定デバイスに対して被測定デバイスが取り扱わなければならない入力波形を擬似的に作り出し,出力特性を測定する。この場合,擬似的に作り出される電気的信号波形は,対象とされる被測定デバイスによって異なる。
テスタは,論理回路をテストする場合は論理信号を,アナログ回路をテストする場合はアナログ信号を擬似的に作成し,設定された測定条件で被測定デバイスの回路が動作するようテストユニットをコントロールする。
ICの特性を測定する作業をデバイステストと呼び,デバイステスト時,テストユニットはテスタのコントロールプロセッサにコントロールされ,あらかじめプログラミングされたシーケンスに従いテスト動作を行う。テスタは,被測定デバイスの出力波形取り込みを規定されたタイミングで実行し,定量的特性を特定する。この取り込みタイミングは被測定デバイスの特性により決定され,時間やデバイスの状態などが特性として規定される。
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