半導体用語集
拡散定数
英語表記:diffusion constant
粒子の濃度0が空間的に変化している場合、濃度は次のような拡散方程式に従い時間とともに変化する。
こで,」はラブラスの演算子,〃は粒子の移動度, Fは粒子に働く外力である。D を拡散定数と呼ぶ。粒子のエネルギー分布がマックスウェル・ポルツマン分布に従う場合には,拡散定数はアイン冫タインの関係式〃=はT/の〃で表わされ,粒子のエネルギー分布がフェルミ・デイラック分布にしたがう場合には, 拡散定数は, 〃= (2EF/ 3の″ で表わされる。 こで,はフェルミエネルギー,〃は電子の電荷量である。また,粒子の変位の2乘平均は 2に等しい。微視的には,平均距離ーだけ離れたサイ トを頻度レで飛び移る時,〃はほほレ/2に等しい。半導体中をキャリアが拡散する場合や気体が拡散する場合には、lは平均自由工程、vは平均自由時間の逆数となる。一方、固体中を原子が移動する場合には、lは原子が一つの拡散ポテンシャルを越えて移動する距離、vは拡散ポテンシャルを乗り越える頻度となる。
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