半導体用語集
テストバーンイン装置 テスティングバーンイン装置
英語表記：test burn-in system testing burn-in system
バーンインにおいて、被試験デバイスの良否判定評価を行う装置。パターン入力と出力機能などで、良否の判別、不良セルの指定、解析のソフト機能を有する。
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