半導体用語集
ダイヤモンドホイール
英語表記：cup shaped daiamond grinding wheel
平面研削用のストレートカップ型といしで端面と外周の一部にダイヤモンドと粒を接着した研削といし。シリコンインゴットの研削、オリエンテーションフラット研削、ウェーハ研削などに使用する。
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