半導体用語集
ABCパラメータ
英語表記：ABC parameter
IBMのDillらにより提案されたノボラックレジストの感光機構モデルが広く受け入れられている。ノボラックレジストの感光特性を感光剤の吸収に注目して三つのパラメータ、B、 Cで記述するモデルである。レジストの光吸収は感光剤濃度に強く依存するので吸収係数αは、ある時刻ｔ、深さzでの規格化した感光剤濃度をM(z、t)とすると、
α=AM(z、t)+B (1)
で与えられる。A(μmー1)は感光剤の光吸収、B（μmー1)はレジスト樹脂膜の光吸収に対応するパラメータである。レジスト深さ方向の光強度分布は、
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