半導体用語集
インプロセスゲージ IPG
英語表記：in-process gauge
加工中のウェーハ厚さを測定し、砥石軸の制御を行うためのインプロセス厚み測定器このインプロセスゲージにより、加工中のウェーハ厚さを常にモニタリングし、複数枚間のウェーハ厚みバラツキを最低限に抑えることが出来る。
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