半導体用語集
インライン
英語表記：in line
複数の装置を結合し総合的な機能を実現するラインを構成すること（インライン化）。一例としてフォトリソグラフィー工程の塗布装置、露光装置、現像装置、洗浄装置、検査装置などの組み合わせがある。
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