半導体用語集
シクロプタン誘導体
英語表記：cyclobutane derivative
BCB (Benzocyclobutene)が代表的な材料である。商品名としては Cycloteneがあげられる。比誘電率は2.7程度であり、吸湿性は低い。ガラス転移点は350℃程度と報告されている。Cu配線の場合に問題となるCu の層間絶縁膜中拡散に対し、フッ素化ポリイミドやポリアリルエーテルに比較し抑止効果の大きいことが報告されており、Cuダマシン配線用の層間絶縁膜としての検討もされている。
DVS-BCB (Divinylsiloxane Benzocyclobutane)やPFCB (Perfluorocyclobutane)も同様な材料である。PFCBの場合は、フッ素が導入されており、比誘電率は2.3程度と低い。BCBの欠点としては熱的安定性に乏しいことがあげられる。大気中での150℃から300℃の熱処理で誘電率と吸湿性が増大する。場合によっては、クラックの発生が起きる。層間絶縁膜として用いる場合には、メタライゼーションプロセスの低温下が必要になる。
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