半導体用語集
外部燃焼装置
英語表記：external torch unit
熱酸化装置を使って水蒸気酸化を行う場合に水素ガスと酸素ガスを反応炉外で燃焼させる水蒸気発生装置。水蒸気の量は水素ガス、酸素ガスをマスフローコントローラで調整し精密に制御する。燃焼部をパイロジェニック（pyrogenic）装置とも呼ぶ。酸素と水素を反応させる方式として着火源を設けて燃焼を促すものと触媒を用いるものとがある。
関連製品
「外部燃焼装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「外部燃焼装置」に関連する用語が存在しません。
「外部燃焼装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
