半導体用語集
積層欠陥
英語表記：stacking fault
面欠陥の1つで、1つの原子面上に間違った順序で積み重ねてできた欠陥。すなわち正規の積み重ねに対し、原子面が1枚余計に入っているか、または1枚抜けた構造になっている。引き上げ結晶に見られる双晶やエピタキシャルSiに見られる積層欠陥がある。Siウェーハを酸素中で加熱した表面にも見られる。
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