半導体用語集
アンチモン
英語表記：antimony
アンチモンは、Ⅴ族の元素で、n型の導電型を示す。アンチモンは、エピタキシャルウェハの基板結晶用として、高濃度にドーピングされるため、そのままドープ剤として使用される。偏析係数は0.023、融点は630.5℃、融点は1,635℃、シリコンに対する固溶限界は7×1019/cm3（1,325℃）である。アンチモンは、一定の条件下で、水素と反応して、非常に有毒なガス（スチビン）を発生する。また、毒性があるので、吸入や経口には注意が必要である。
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