半導体用語集
グロスリークテスト
英語表記：gross leak testing
リークテストの一つで，特に，10⁻¹～10⁻⁴atm cc/sの範囲のリークテストをグロスリークテストと呼ぶ。なお，リークテストはファインリークテスト，グロスリークテストの2種類があり，10⁻⁵～10⁻¹²atm cc/sの範囲のリークテストをファインリークテストと言う。リークテストは，最初にファインリークテスト，次にグロスリークテストを実施する。
グロスリークテストの試験方法は3種類あり，それぞれ，フロロカーボン，浸透性染料，重量増加を利用する。
フロロカーボンを利用する試験方法は，減圧加圧槽，フロロカーボン検出液槽，フロロカーボン指示液槽の三つのタンク（槽）を使用する。最初に，減圧加圧槽で，試験するパッケージを少なくとも5torr以下，30分間以上の条件で保持する。次に，フロロカーボン検出液槽で，フロロカーボン検出液（たとえば，3M社のFC-84）に浸漬する。この際にリークがあれば，フロロカーボン検出液がパッケージ内部に侵入する。最後に，フロロカーボン検出液よりも高い融点を持つフロロカーボン指示液（たとえば，3M社のFC-40）で満たされた，フロロカーボン指示液槽に浸漬する。フロロカーボン指示液をフロロカーボン検出液の融点以上に加熱すると，パッケージ内部のフロロカーボン検出液が膨張，気化して，フロロカーボン指示液槽で気泡として観察できる。
浸透性染料を利用する試験方法は，浸透性染料を満たした加圧槽に，45psi（1psi=6894.76Pa）以上，10時間以上の条件で，パッケージを浸漬する。この際にリークがあれば，浸透性染料がパッケージ内部に侵入する。パッケージを加圧槽から取り出して，適切な溶剤で浸透性染料を洗浄し，残っている浸透性染料を観察する。
重量増加を利用する試験方法は，フロロカーボンなどを満たした槽に浸漬する前後のパッケージの重量を測定する。
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