半導体用語集
ファインリークテスト
英語表記：fine leak testing
リークテストの一つで，特に，10⁻⁵～10⁻¹²atm cc/sの範囲のリークテストをファインリークテストと呼ぶ。なお，リークテストはファインリークテスト，グロスリークテストの2種類があり，10⁻¹～10⁻⁴atm cc/sの範囲のリークテストをグロスリークテストという。リークテストは，最初にファインリークテスト，次にグロスリークテストを実施する。
ファインリークテストの試験方法は2種類あり，それぞれ，トレーサガス，ラジオアイソトープを利用する。
トレーサガスを利用する試験方法は，ヘリウム（He）を使用する。最初に，ヘリウムガスを満たした気密室
の中に，パッケージを決められた加圧条件，時間で保持する。次に，排気し，リーク検出器で，リーク個所からパッケージ内部に侵入したヘリウム量を測定する。
ラジオアイソトープを利用する試験方法は，放射性トレーサガスを使用する。最初に，放射性トレーサガスを満たした放射性タンクの中に，パッケージを決められた加圧条件，時間で保持する。次に，放射線カウンタで，リーク箇所からパッケージ内部に侵入した放射性トレーサガス量を測定する。
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