半導体用語集
デバイスGNDリレー
英語表記：DUT ground relay
ウェーハの並列同時測定時、各被測定デバイスのGNDラインが共通なために生じるVcc-GND間の電位の変化を防止する目的で設けられたテスタと各チップのGNDを切断するリレー。
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