半導体用語集
マイクロラフネス
英語表記：microroughness
ウェーハ表面においての凸凹間隔（空間波長レンジ、λ）が約100μm未満の表面粗さ成分を、マイクロラフネスと呼ぶ。
SEMI M1-0200（D9160参照）
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